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　　潔凈室環(huán)境檢測是指對潔凈室內的空氣質量、微粒污染水平、溫濕度等參數進行測量和評估的過程，確保該環(huán)境滿足特定工業(yè)或科研活動的嚴格標準。潔凈室，也稱為無塵室，是一個特別設計的封閉空間，其內部空氣、懸浮微粒、細菌和其他污染物被控制在極低的水平。

　　潔凈室環(huán)境監(jiān)測國標要求及項目內容

　　一、依據國標GB50073-2013《潔凈廠房設計規(guī)范》，潔凈室檢測項目標準要求如下：

　　?1)風速或風量的檢測

　?。╝）單向流潔凈室：距離高效過濾器0.3m，間距不大于0.6m，不少于5點，測風速，求平均，算風量。

　?。╞）非單向流潔凈室：測風量，算換氣次數。參照GB50243-2016《通風與空調給出施工及驗收規(guī)范》

　　2)靜壓差的檢測

　　（a）門應全部關閉

　?。╞）壓差計靈敏度應小于1Pa。

　　3)安裝后過濾器泄漏檢測

　?。╝）光散射氣浮微粒測定儀的流量應大于1L/min；

　?。╞）顆粒度不小于0.1μm（0.5μm）；顆粒濃度大于3.5×107pc/m3；距離過濾器表面2～3cm；掃描速度5～20mm/s。

　?。╟）對于高效過濾器不大于出廠合格穿透率的2倍，對于超高效過濾器不大于出廠合格穿透率的3倍。

　　4)不同等級潔凈室的連通孔洞的風速應大于0.2m/s。

　　5)潔凈度的檢測

　?。╝）光散射氣浮微粒測定儀的流量應大于1L/min，并具備有效的標定合格證；

　　（b）采樣點離地0.8m；

　　（c）每個采樣點的每次采樣量按ISO14644的要求；

　?。╠）僅有一個采樣點時，至少采樣3次。

　　二、依據國標GB50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》，潔凈室（區(qū)）性能測試項目的標準要求如下：

　　1）風速和風量的檢測

　　對于單向潔凈室，應離高效過濾器300mm。

　　2）靜壓差的檢測

　　檢測靜壓差的時候應該關閉全部門窗。檢測儀器的靈敏度應小于1.0Pa。應由里向外按順序檢測。

　　3）空氣過濾器安裝后的檢漏

　　微粒儀的流量應大于1L/min。應在過濾器的上風側引入不小于0.1μm（或0.5μm）的微粒，其濃度應大于3.5×107pc/m3。微粒儀距離濾器表面20～30mm處等速采樣，并以5～20mm/s速度掃描。

　　4）潔凈度的檢測

　　最少采樣點和每次最少采樣量與ISO14644基本相同。

　　5）溫度和濕度的檢測

　　檢測點的覆蓋面積不大于100m2。每個房間不少于2個檢測點。檢測點應取工作高度，距吊頂、墻和地面不少于300mm。

　　6）噪聲的檢測

　　每100m2設一個檢測點。檢測點距地面1.1～1.5m,距墻大于3m。

　　7）照度的檢測

　　檢測點為工作高度，宜距地面0.85m,每25m2設一個檢測點。